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真空洗滌干燥機利用液體在真空狀態下的物理變化，改變烴洗滌劑和被洗滌物的某些特性，避免危害，更好地發揮烴洗滌劑的優勢。
真空技術在清洗中的主要作用是：
1、排出洗滌劑中的空氣，降低超聲波的衰減。
為了提高清洗效果，清洗機普遍采用超聲波技術，利用超聲波振子每秒數萬次的振動，發出人耳能聽到的10萬人以上的聲壓。 清洗時，超聲波在液體中呈放射狀，流過清洗液產生大量真空氣泡。 這就是空化現象，該空化引起的液體流動和數萬高壓真空氣泡瞬間爆炸時產生的能量不斷沖擊被子清洗物的表面，迅速剝離表面和間隙的污垢。
但在常壓狀態下，溶解在洗滌劑中的空氣粒子接觸超聲波后會產生氣泡，超聲波的空化大幅衰減，清洗效果減弱。 真空狀態下，洗滌劑中的氣體會消失，避免超聲波的衰減。 這個效果可以從鋁箔實驗中驗證：在清洗槽中分別加入未真空脫氣的烴洗滌劑和真空脫氣的烴洗滌劑，用相同功率的超聲波清洗鋁箔1分鐘后，未脫氣的洗滌劑出現輕微的振動，鋁箔幾乎沒有變化真空脫氣的洗滌劑劇烈振動，鋁箔上很快就形成了許多孔。
2、排除工件表面和空隙中的空氣，提高清洗效果。
在以往的清洗中，清洗效果不理想，是因為盲孔、粗糙面、細小間隙的空氣無法排出，影響洗滌劑的潤濕，產生清洗盲孔。 應用真空技術，可以將零件的表面、間隙、盲孔內的空氣全部排出，使清洗劑完全浸入工件的各個部位，從而在工件的各個部位獲得最好的清洗效果。 對于結構復雜、盲孔較深的工件，也可以在2次以上的抽真空和排氣過程中全部排出空氣。 因此，在真空狀態下，清洗效果高于常壓。
3、沸點、命名烴清洗劑也可以進行氣相清洗。
使用鹵代烴清洗劑的超聲波清洗機，利用鹵代烴清洗劑沸點低的特點，在清洗的最后一步，加熱清洗劑產生清潔的清洗劑蒸氣，用溶液蒸氣清洗工件，以免清洗溶液中溶解的油污殘留在工件表面碳氫化合物清洗劑的沸點高于燃點，因此在常壓狀態下無法對工件進行蒸汽清洗。
真空洗滌干燥機利用液體在真空狀態下沸點降低的原理，通過對密封的洗滌槽進行抽真空，使烴溶劑的沸點大幅降低，只需將烴洗滌劑加熱到80左右，即可使其沸騰，實現蒸汽洗滌。
4、利用真空突沸效果，提高干燥速度。
由于烴洗滌劑的沸點都在140以上，因此在常溫常壓下完全揮發一般需要1個小時左右。 這樣的干燥速度肯定不能滿足工藝清洗的節拍要求。 加熱干燥的方法容易產生火災保險，這也是烴洗滌劑在我國沒有廣泛應用的主要原因之一。 真空清洗干燥機一般用一個槽進行蒸汽清洗和真空干燥，一邊對動作進行蒸汽清洗一邊使工件溫度上升，然后使干燥槽迅速變為更高的真空狀態，則工件表面的清洗液突然沸騰(真空突沸效果)，迅速揮發干凈。 這樣可以將工件的干燥時間控制在幾分鐘以內。
5、真空蒸餾，烴洗滌劑再生再利用。
蒸餾再生是利用洗滌劑和污垢的沸點差，將溶解有油污的洗滌劑加熱到洗滌劑的不沸點以上，控制在油污的沸點以下，從而使洗滌劑氣化，然后通過冷凝裝置再冷凝成清潔的洗滌劑，沸點高的油污和機械雜質殘留在蒸餾罐的底部。
由于鹵代烴清洗劑沸點低、不易燃、蒸餾再生比較容易，所以很多鹵代烴清洗劑都自帶蒸餾再生裝置。 另一方面，烴洗滌劑沸點高，因此閃點低，不能在常壓下蒸餾再生。 真空洗滌干燥機的蒸餾再生裝置在高真空下使烴洗滌劑的沸點降低到80，將清洗槽中溶解有油污的清洗液不斷引入蒸餾裝置，在真空中加熱蒸發，冷凝后成為清洗溶劑，使清洗液始終保持清潔狀態。 油污留在蒸餾裝置的底部，定期排出。
6、隔絕氧氣，燃燒碳氫化合物洗滌劑的條件。
大部分烴洗滌劑的閃點為50左右，在我國的《常用危險化學品的分類及標志》 (GB13690-92 )中是高閃點可燃性液體。 雖然燃點高，但在有高溫或助燃物(紙或棉等)的情況下依然有燃燒的危險。 因此控制火災保險成為其普及中必須解決的問題。 燃燒需要可燃物、溫度、氧氣三個必要條件，只要缺少一個就不會發生燃燒。 真空狀態下氧含量極低，在洗滌、干燥、蒸餾再生過程中，即使烴洗滌劑的溫度達到燃點以上，由于沒有氧，也失去了燃燒所需的條件，烴洗滌劑不燃燒，可以安全使用。
碳氫化合物清洗機的分類：
清洗機按照設計可以分為標準機和非標準機。 根據清洗槽的數量，分為單槽機、雙槽機、多槽機等。也可以根據自動化程度分為手動、半自動和全自動型。 烴清洗機的各部分功能包括清洗系統、蒸餾再生系統、控制系統、輔助系統等。
